1 μm μέταλλο φίλτρα για την εξαγνιστική διαδικασία αερίων σε ημιαγωγούς --- κατασκευή πλακών με έλεγχο AMC

Τύπος προϊόντος: Υπερλεπές μικρές ίνες από ανοξείδωτο χάλυβα 316L

Διάμετρος ινών: 1um/1.5um/2um διαθέσιμο

Διάστημα κοπής: 80-100 μm

Χημική σύνθεση της πρώτης ύλης ((Wt%))

Στην κατασκευή ημιαγωγών, η διατήρηση των αερίων διαδικασίας εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας είναι κρίσιμη για την πρόληψη ελαττωμάτων και τη διασφάλιση υψηλών αποδόσεων.τα μέταλλα φίλτρου διαδραματίζουν ζωτικό ρόλο στον καθαρισμό αερίων, αφαιρώντας τα μολυσματικά σωματίδια και συμβάλλοντας παράλληλα στον έλεγχο της μοριακής μόλυνσης στον αέρα,που είναι απαραίτητο για την προηγμένη κατασκευή πλακιδίων.

Βασικά χαρακτηριστικά και οφέλη

Υψηλής αποδοτικότητας διήθηση (1μm διατήρηση)

Καταλαμβάνει σωματίδια κάτω των μικρών που θα μπορούσαν να προκαλέσουν ελαττώματα στις διαδικασίες φωτολιθογραφίας, χαρακτικής και εναπόθεσης.

Μειώνει τον κίνδυνο μόλυνσης της επιφάνειας της πλάκας, βελτιώνοντας την απόδοση.

Χημικά αδρανής και ανθεκτικός στη διάβρωση

Κατασκευασμένο από υλικό υψηλής καθαρότηταςΑτσάλι ατσάλι (316L), νικέλιο ή συγκολλημένα κράματαγια συμβατότητα με επιθετικά αέρια (π.χ. HF, HCl, NH3).

Αντιστέκεται στην εξάτμιση αερίων, αποτρέποντας πρόσθετη μόλυνση.

Δυνατότητα ελέγχου AMC

Μερικά προηγμένα μεταλλικά φίλτρα ενσωματώνουνεπεξεργασίες επιφάνειας ή επικαλύψεις(π.χ. παθητικοποίηση, ηλεκτροπλήρωση) για την ελαχιστοποίηση της προσρόφησης/αποσρόφησης πτητικών οργανικών ουσιών ή οξέων.

Βοηθά να συναντηθούμεΕιδικότερα, οι ενδείξεις που χρησιμοποιούνται για την αξιολόγηση της συμμόρφωσης πρέπει να είναι:απαιτήσεις για ευαίσθητες διεργασίες όπως η λιθογραφία EUV.

Αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες και πίεση

Σταθερή απόδοση σε σκληρές συνθήκες (μέχρι 500 °C ή υψηλότερη για ορισμένα κράματα).

Κατάλληλο για:ΚΑΠ, διάχυση και εμφύτευση ιόντωναγωγούς αερίου.

Μακρά διάρκεια ζωής και καθαρισμό

Επαναχρησιμοποιήσιμο μετά το καθαρισμό (υπερήχημα, χημικές ή θερμικές μεθόδους), μειώνοντας το κόστος ιδιοκτησίας.

Σχεδιασμός χαμηλής πτώσης πίεσης για ενεργειακά αποδοτική ροή αερίου.

Εφαρμογές στην κατασκευή ημιαγωγών

Παροχή αερίου εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας(N2, Ar, H2, O2, κλπ.)

Διαδικασίες χαρακτικής και εναποθέσεως(CVD, PVD, ALD)

Φωτολιθογραφία(Περιβάλλοντα EUV/DUV ευαίσθητα σε AMC)

Φιλτράρισμα χύδην αερίου και στο σημείο χρήσης (PoU)

Γιατί τα Μεταλλικά Φίλτρα Αντί των Εναλλακτικών;

Ανώτερη αντοχήέναντι των πολυμερών φίλτρων (που μπορούν να υποβαθμίσουν και να ρίξουν σωματίδια).

Δεν χάνεται ίνα.σε αντίθεση με τα παραδοσιακά φίλτρα HEPA/ULPA.

Καλύτερη μείωση της AMCσε σύγκριση με τα τυποποιημένα φίλτρα σωματιδίων.

Συμμόρφωση και πρότυπα

ΣΕΜΙ F20(Ελέγχος σωματιδίων)

ΣΕΜΙ F21(Ενταρρύθμιση AMC)

ISO 14644-1(Κανονισμοί καθαρισμού)

Συμπεράσματα

Μέσα φίλτρου μετάλλου 1 μmείναι ένα ισχυρό διάλυμα για τον καθαρισμό των ημιαγωγών αερίων, που συνδυάζειδιήθηση σωματιδίων, έλεγχος AMC και χημική αντοχήνα ανταποκρίνονται στις αυστηρές απαιτήσεις της προηγμένης κατασκευής πλακών.